團隊合作攜手綠色創新
同仁發掘機台節能機會
同仁小心驗證節能行動成果
案例分享

台積公司成功開發高溫爐管製程節能最佳化控制程式

黃信華
2018/10/26

面對極端氣候異常,衝擊全球生態與人類生活,台積公司堅守環境永續承諾,積極掌握最新環保、節能及氣候變遷趨勢,矢志成為世界級的環保標竿企業。在綠色管理的具體實踐上,除了與外界攜手合作降低環境衝擊外,更將「改善能源使用效率」列入長期策略及台積公司永續發展目標中,民國106年首度舉辦「機台節能競賽」,鼓勵同仁集思廣益,從日常業務發掘改善機會並付諸行動。值得一提的是,獲得優勝獎的案例—「修正爐管機台溫度控制機制,找出最佳節能模式」,已於民國107年實際應用於機台節能中。

針對爐管機台用電深入剖析,挖掘改善機會

傳統的高溫製程中,皆會利用晶片載具下端的加熱裝置來避免反應爐熱散失,但當高溫製程結束,冷卻系統將晶片降至室溫送出機台,爐管下端的裝置卻仍持續加熱,造成設備耗能增加,導致機台的加熱與冷卻過程並非運轉於「最佳節能點」。

應用大數據分析及優化程式,實踐機台設備最佳能源效率

台積公司應用大數據分析,收集機台的溫度曲線、缺陷監控曲線、產品良率曲線,以及機台內部元件的相關數據後,逐項分析必要性並開始執行優化程序。此外,由於爐管區反應爐每批製程晶片數至少達50片,一旦發生異常,損失將放大數倍,因此任何製程變動實施前,皆需經過反覆檢視與驗證。經過數月努力,成功開發出「高溫爐管製程最佳化節能控制程式」,耗能降低95%,民國107年上線機台節能達到400萬度,預計於民國108年底前推廣至全廠區,每年可望節能大於1,000萬度。

機台節能競賽,綠色創新未來

第一屆「機台節能競賽」的成功經驗,讓同仁重新審視日常業務、激盪創新做法,將綠色行動落實於實際工作中。民國107年邁入第二屆,總提案件數達371件,較前一屆成長66%。做為地球公民的一份子,台積公司將持續努力,開發各類型節能行動,朝永續未來邁進。