半導體黃光製程
台積公司積極參與有害物質管理相關研討會,掌握最新發展趨勢及主導推動相關專案
案例分享

台積公司全面替代全氟辛酸相關物質

羅明廉
2018/10/19

台積公司提供專業積體電路製造服務領域中最完備的技術與服務,致力為客戶打造兼具創新與環保的永續產品,並將產品有害物質管理列為長期策略及永續發展目標。為了掌握全球環境法規趨勢並及早因應,台積公司企業環保安全衛生處積極參與世界半導體協會的環保安全衛生委員會,觀察到近年各界高度關注全氟烷基化合物(Perfluoroalkyl Substance, PFAS),尤其是長鏈PFAS中的全氟辛酸(Perfluorooctanoic Acid, PFOA)及其相關物質對人體健康及環境可能造成的危害。有鑑於此,台積公司積極推行PFOA相關物質替代計畫,順利於民國107年第二季完成所有替代化學品驗證,預計年底前全面替代所有廠區的PFOA相關物質。

全氟烷基化合物簡介與應用

簡介

  • PFAS大致可分為長鏈(大於或等於八個碳)及短鏈(小於八個碳)二大類
  • 長鏈PFAS包含全氟辛烷磺酸(Perfluorooctane Sulphonate, PFOS)與全氟辛酸(Perfluorooctanoic Acid, PFOA)及其相關物質
  • 應用

  • 日常及民生用品
    披薩盒、微波爆米花袋等各種防油紙袋、紡織品、地毯、鞋材、航空科技、運輸、電子業以及廚具等用品
  • 半導體
    光微影製程,包括光酸生成劑(Photoacid Generators, PAGs)及防止反射塗層(Anti-reflective Coatings, ARCs)等
  • 積極執行產品有害物質管理

    目前世界各國包括台灣在內均已立法管制PFOS、PFOA及其相關物質,台積公司亦採取積極防範作為。

    以超越法規要求的嚴謹態度執行替代物質評估

    台積公司所使用的替代化學品均為短鏈(含四個碳及以下)的PFAS類物質,對人體或環境無顯著危害性,同時亦在綠色採購程序中建立把關機制,將PFAS長鏈物質列為製程禁用物質,在執行新物料評估時,即先排除該類物質。至於五、六、七個碳的PFAS,雖然目前均未發現造成人體危害及環境污染的研究證據,法規管制期程亦尚未明朗,台積公司仍以「能不用就不用」為原則,率先管控此類較低危害物質;惟若因應新製程研發,必須使用該類物質時,使用部門除遵守特定化學物質危害預防標準的法規要求外,並須依循內部程序申請,必要時交由副總經理以上的決策層級會商決定。

    針對有害物質管理,台積公司秉持最嚴謹的態度,除了努力達成在民國107年底前完全不使用PFOA相關物質的目標外,亦持續收集國內外對於PFAS物質相關的研究報告與法規發展,隨時掌握最新永續趨勢。