台積公司以「金屬蝕刻機台良率及產能提昇」案例榮獲經濟部工業局「第十一屆品質優良案例獎」

台灣積體電路製造股份有限公司致力品質提昇,今年以其四廠的「金屬蝕刻機台良率及產能提昇」案例,首度角逐經濟部工業局舉辦的「品質優良案例獎選拔」,在競爭激烈的評審過程中脫穎而出,於今(1)日獲頒「第十一屆品質優良案例獎」,肯定台積公司為鼓勵創新與提昇品質所投注的決心與努力。

台積公司從事晶圓專業製造服務,穩定的晶圓良率及準確的交貨時間是對客戶的重要保證,而晶圓廠要在製程穩定性及生產效率上不斷提昇,除了改進生產流程之外,最直接也最重要的就是生產機台的改良。台積公司「金屬蝕刻機台良率及產能提昇」案例,即是半導體晶圓生產線上金屬蝕刻機台的良率及生產效能改善過程。

本案例中的金屬蝕刻機台(TCP-9600SE),原本因光阻殘留及微塵問題,容易造成良率降低甚至整片晶圓報廢,導致在此機台上進行的0.25um金屬蝕刻工作不甚順利。針對此一機台個案,台積公司四廠成立TCP-9600SE CIT (Continuous Improvement Team,持續改善小組)進行檢測與改善,在經過分析、驗證而尋出對策後,採行福特8D的方式解決光阻殘留的問題,並有效降低機台微塵量,同時著手導入0.25um金屬蝕刻製程,其中並結合運用 PDCA (Plan-Do-Check-Action)策略,最後TCP-9600SE CIT團隊順利達成任務,大幅提昇客戶滿意度。

台積公司品質暨可靠性副總經理余德瀚博士表示,台積公司自成立以來,即不遺餘力推動品質提昇與提倡創新,鼓勵所有員工在各個領域,包括企畫、技術、行銷、生產及管理等,不斷提出自己的想法,並確實規劃執行,期望透過品質改良與創新來提昇企業競爭優勢。

余副總同時指出,在台積公司十大經營理念中,第七條是「鼓勵在各方面的創新,確保高度企業活力」,台積公司將持續秉持創新的精神及文化,因應瞬息萬變的產業特性,自我超越,為客戶提供最先進的晶圓專業製造服務,進而達成「做一個全球最有聲譽、以服務為導向、並替客戶創造最大利益的專業積體電路製造服務公司,因而成為獲利最高的一流半導體企業」的願景。

為了鼓勵創新與提昇品質,台積公司建立了全國首創的電子化提案系統,亦成立持續改善小組(CIT)及各種專案,讓公司內自管理階層至生產線上的技術,均可透過提案和優良案例競賽等不同活動來參與品質改善。今年度獲獎的「金屬蝕刻機台良率及產能提昇」案例,即是透過此持續改善團隊(CIT)活動眾多優良改善案例代表之一。