台積公司晶圓六廠榮獲九十年經濟部節約能源績優廠商傑出獎

台灣積體電路製造股份有限公司今(23)日宣佈,該公司晶圓六廠榮獲經濟部能源委員會所主辦的九十年「節約能源績優廠商傑出獎」,是台積公司繼其晶圓三、四及五廠後,第四度獲得此一殊榮。台積公司並將應經濟部之邀於明年4月假台積公司晶圓六廠舉辦「節約能源績優廠商觀摩會」,與各界分享台積公司多年來在省能、節能方面的心得與成果。

台積公司發言人陳國慈資深副總經理表示,台積公司非常高興能再度榮獲「節約能源績優廠商傑出獎」的肯定。節約能源是台積公司一貫的基本政策,自民國76年成立以來,除積極遵循國家能源政策外,並自行建構一套完整的能源管理制度,從晶圓廠的規劃、設計以至管理各階段,皆投下可觀心力,仔細評估各種能源的使用量與節省量,透過各種節約能源的方式,有效減少能源的消耗。

台積公司晶圓六廠從建廠規劃開始,就擷取公司過去成功的經驗,並採用最先進及高效率的設備以及有效的控制方式來達到節能的目的。在建廠時期,即有計劃地運用各項省能設備及節約能源的技術,以六大措施--「冰水主機熱回收系統」、「儲冰式空調系統」、「迷你潔淨室」、「雙冰水溫度系統」、「空調系統、排氣系統、與製程用水系統皆使用變頻器控制」以及「水資源回收系統」--多管齊下地降低能源使用量。晶圓六廠前瞻的省能設計,除了每年能省下近1億2千萬元新台幣的能源成本外,對環境保護、資源再生也有顯著的貢獻,以二氧化碳排放量為例,每年共計可減少約4 萬7千噸。

除了前述省能設計所產生的貢獻外,為了更進一步提升能源的使用效率,台積晶圓六廠在正式進入量產後,又立刻成立了節能小組,逐年設定省能改善目標,並限期加以完成。在節能小組的努力下,台積晶圓六廠於89年度推動「潔淨室正壓設定節能改善」、「製程冷卻水減量」、「減少製程排氣量」、「降低潔淨室循環風速」與「減低照明節能改善」等五項節能方案,有效的達成了當年度節省電力1千2百萬度及減少二氧化碳排放量8千噸的省能目標,生產成本也因此再降低了新台幣2千萬元。