台積公司八吋晶圓四廠正式加入營運

台 灣 積 體 電 路 製 造 股 份 有 限 公 司 第 二 座 八 吋 晶 圓 廠 --晶 圓 四 廠 , 經 過 三 個 多 月 來 密 集 的 試 車 生 產 後 , 證 實 產 品 良 率 高 達 90%以 上 , 將 於 二 月 起 正 式 啟 用 , 全 年 可 望 為 台 積 公 司 貢 獻 約 40億 元 新 台 幣 的 營 收 。

台 積 公 司 蔡 力 行 副 總 經 理 指 出 , 總 投 資 額 高 達 新 台 幣 300億 元 的 晶 圓 四 廠 , 自 八 十 四 年 四 月 動 土 以 來 , 建 廠 及 試 車 非 常 順 利 , 第 一 批 0.5微 米 邏 輯 製 程 工 程 晶 圓 於 去 年 九 月 產 出 , 測 試 良 率 高 達 90%。 而 後 , 更 順 利 完 成 0.35微 米 16M DRAM等 多 種 產 品 的 試 製 , 為 正 式 量 產 奠 定 雄 厚 的 基 礎 。

二 月 起 晶 圓 四 廠 將 以 全 球 最 先 進 的 0.45微 米 到 0.35微 米 製 程 技 術 進 入 量 產 , 為 客 戶 大 量 生 產 16M DRAM及 各 式 邏 輯 產 品 , 明 年 起 製 程 技 術 更 將 大 步 邁 入 0.25微 米 量 產 階 段 。 而 產 能 也 將 迅 速 擴 充 , 除 了 今 年 底 單 月 產 能 達 到 22,000片 八 吋 晶 圓 外 , 預 計 明 年 底 月 產 能 將 再 擴 充 到 30,000片 八 吋 晶 圓 的 滿 載 規 模 。

晶 圓 四 廠 與 前 (84)年 九 月 即 開 始 生 產 的 晶 圓 三 廠 為 雙 子 型 工 廠 , 在 設 計 興 建 上 維 持 台 積 公 司 的 一 貫 特 色 , 以 迷 你 潔 靜 室 結 合 標 準 機 械 界 面 , 提 供 潔 淨 度 達 Class 0.1的 極 大 型 積 體 電 路 (ULSI)製 造 環 境 。 晶 圓 四 廠 潔 淨 室 面 積 為 6,500平 方 公 尺 , 採 開 放 空 間 規 劃 , 不 但 在 製 程 安 排 上 甚 有 彈 性 , 更 有 利 於 產 能 的 不 斷 擴 充 及 生 產 成 本 的 持 續 降 低 , 極 具 競 爭 力 。 除 了 一 流 的 生 產 環 境 與 製 程 技 術 外 , 整 座 工 廠 也 與 晶 圓 三 廠 共 用 最 先 進 的 電 子 束 光 罩 製 作 區 與 測 試 區 , 可 為 客 戶 提 供 迅 速 且 高 品 質 的 整 體 積 體 電 路 製 造 服 務 。

蔡 副 總 同 時 指 出 , 在 該 公 司 研 發 部 門 與 生 產 線 同 仁 的 努 力 下 , 晶 圓 四 廠 亦 已 於 去 年 底 試 車 生 產 階 段 中 , 順 利 完 成 第 四 代 0.35微 米 縮 小 版 16M DRAM的 量 產 導 入 , 今 年 起 將 提 供 客 戶 大 量 的 生 產 服 務 。 此 項 16M DRAM為 0.35微 米 四 層 多 矽 膜 、 二 層 金 屬 膜 (4P/2M)製 程 , 採 用 該 公 司 自 製 的 相 轉 移 光 罩 (phase-shift mask), 最 小 的 幾 何 尺 寸 已 達 0.3微 米 。 由 於 製 程 十 分 先 進 , 每 片 八 吋 晶 圓 產 出 之 16M DRAM晶 粒 可 高 達 440顆 , 就 算 目 前 DRAM價 格 低 迷 , 客 戶 仍 有 合 理 的 獲 利 空 間 , 甚 具 市 場 競 爭 力 。 此 外 , 這 項 DRAM技 術 的 成 功 發 展 將 有 助 於 台 積 公 司 對 嵌 入 式 記 憶 體 元 件 (embedded memory)的 技 術 研 發 , 預 計 今 年 中 即 可 配 合 客 戶 的 產 品 需 求 , 開 始 提 供 量 產 服 務 。