台積晶圓五廠榮獲八十八年經濟部節約能源績優廠商傑出獎

台灣積體電路製造股份有限公司晶圓五廠榮獲經濟部能源委員會所主辦的八十八年度「節約能源績優廠商傑出獎」,並應經濟部之邀於今(26)日上午假台積公司晶圓五廠舉辦「節約能源績優廠商觀摩會」,與各界分享台積多年來在省能、節能方面的心得與成果。

台積公司自民國76年成立以來,除積極遵循國家能源政策外,並自行建構一套完整的能源管理制度,從晶圓廠的規劃、設計以至管理各階段,皆投下可觀心力,仔細評估各種能源的使用量與節省量,嘗試透過各種節約能源的方式,有效減少能源的消耗。以此次榮獲「八十八年經濟部節約能源傑出獎」的台積晶圓五廠為例,在建廠時期,即有計劃地運用各項省能設備及節約能源的技術,以六大措施--「冰水主機熱回收系統」,「迷你潔淨室」,「天然氣熱水鍋爐」,「空調系統、排氣系統、與製程用水系統皆使用變頻器控制」,「光阻去除劑冷凝器採用熱管熱回收設備」,「水資源回收系統」--多管齊下地降低能源使用量。台積五廠前瞻的省能設計,除了每年能省下近1億5千萬元新台幣的能源成本外,對環境保護、資源再生也有顯著的貢獻,例如:每年共計可減少約3萬8千噸的二氧化碳排放量,所節省的用水量則高達半座寶山水庫的蓄水量。

除了前述省能設計所產生的貢獻外,為了更進一步提升能源的使用效率,台積晶圓五廠在正式進入量產後,又立刻成立了節能小組,逐年設定省能改善目標,並限期加以完成。在節能小組的努力下,台積晶圓五廠於八十七年度推動「潔淨室正壓設定節能改善」,「降低高溫熱水之輔助溫水溫度」,「減少製程排氣量」,「降低潔淨室循環風速」與「減低照明節能改善」等五項節能方案,有效的達成了當年度節省電力7百萬度、節省天然氣90萬立方公尺、以及減少二氧化碳排放量6千噸的省能目標,生產成本也因此再降低了新台幣1千9百萬元。

台積公司發言人黃彥群副總經理表示,積體電路製造服務業的發展與能源的使用息息相關,鑑於台灣的能源資源有限,台積公司以身作則,以建立高效率的晶圓廠自許,針對半導體晶圓廠的製程需要,建立能源效率指標,透過各種有效的分析管理技巧,完全掌握製程能源使用情況,不僅能迅速掌握問題的改善關鍵,同時更能化被動為主動,全面探討各種節能方法,以找出最適合晶圓廠的省能設計。