TSMCは、最高品質の半導体製造サービスを全世界のお客様に提供し、相互にメリットのある長期的な関係の構築に努めます。

あらゆる工程において品質管理を徹底し、顧客満足度の向上を目指しています。我々の最終の目標は、ゼロ・ディフェクト(無欠陥)製造です。

品質不良が生じた場合に備え、 お客様のご要望にお応えすべく、緊急時対策を整備し、欠陥の撲滅に努めます。

品質管理システム

概要

TSMCの品質管理システムは、コアプロセス(半導体プロセス技術の研究開発、ウェーハ製造、カスタマー・サービス、更に設計サービス、マスク製造、ウェーハ検査、ウェーハ・バンピング、社内または外部のテストなど)全体を通じて構築されており、TSMCのビジネス戦略を支援し顧客満足度を高めています。

TSMC Quality Management System

品質認証ロードマップ

TSMCの品質システムインフラは、ISO 9001、Ford Q1 award、QS-9000、ISO/TS 16949、IECQ QC 080000などを含む、様々な国際品質基準に基づくものです。

Quality Certification Roadmap

TSMC 品質認証ロードマップ
To download the certificates

技術開発

TSMCは、お客様の製品に対して最高品質のウェーハの提供に努めています。そのため、弊社のファンドリーサービスには、技術開発から量産に至るまで、総合的な品質・信頼性制御システムおよびプログラムが組み込まれています。そして新技術の場合は、ファブに移管され製造を開始するまでに、研究開発の段階からいくつかの業界最高基準に基づく厳しい認証手順を経なければなりません。最近では、high-k/metal gateに対する新しい認定手法も確立されました。また、新技術およびお客様の新製品の開発においては、高度な故障解析ツールおよび新材料の評価プロセスも効果的に採用されています。

TSMCの技術開発ライフサイクルコントロールは、APQP(Advanced Product Quality Planning = 先行製品品質計画)手法を使用して開発されたもので、並行開発規律および多機能調整を定義するための体系的な取り組みです。明確なリリース基準などと共に、 "プロセスリリース・スペック"を作成します。

製造管理

  • 原材料とサプライチェーンのリスク管理

    TSMCはサプライチェーンにおけるリスクを最小限に抑えるため、資材管理、ファブ運営、リスク管理、品質管理を一体化して管理しています。それに加え、原材料の品質を維持するために、エラー防止対策としてeCoA (Certificate of Assurance)およびeCoA SPC制御システムを確立し、サプライヤーにおけるエラー防止プロセス能力をタイムリーに監視します。また、TSMCは年に一度Supply Chain Management Forum開催し、サプライヤーとの有益な協力関係の維持に努めており、特に優れた業績を達成したサプライヤー、および技術協力に貢献したサプライヤーを称え、サプライヤー賞を授与しています。

  • 製造における精度と効率性

    PPM(parts-per-million)レベルの稼働を維持しながら、卓越した製造を実現するためには、コスト効率の良い効果的な手法を備えた、強固なエラー防止品質システムが必要です。TSMCは、製造品質の制御やエラー防止を強化するために、高度な製造防衛システム[図4]を開発しました。これらのシステムはすべて、製造実行システム(MES)を通じて連結し、生産プロセスを厳しく制御します。また、システムから異常信号が通知されるため、責任者はタイムリーに即行動を取ることができます。これらのシステムにより、すべてのツールやモジュールプロセスからの重大な逸脱、製造リスクなどを最小限に抑えます。

    TSMC Manufacturing Defense Systems

    TSMC製造防衛システム
  • 顧客満足度調査とクレーム管理

    TSMCはお客様からの貴重なご意見や評価を大変重要視しています。毎年、お客様の満足度を把握するために顧客満足度調査を実施し、お客様のニーズを正しく理解し、適切に対応しているのかを判断しています。調査は全てのお客様が対象で、オンライン上でのアンケート調査または外部のコンサルタント会社によるインタビュー形式の調査でご協力をお願いしています。また、日々のお客様からの全クレームをタイムリーに管理する、CCM(Customer Claim Management)システムが構築されているため、エラーを直ちに把握し、対応することが可能です。