提供可靠的產能是台積公司製造策略的重要關鍵。台積公司目前擁有四座十二吋超大晶圓廠一晶圓十二廠、晶圓十四廠、晶圓十五廠及晶圓十八廠。2022年，這四座超大晶圓廠的總產能已超過1,100萬片十二吋晶圓。晶圓十二廠、晶圓十四廠和晶圓十五廠目前提供0.13微米、90奈米、65奈米、40奈米、28奈米、16奈米和7奈米和5奈米全世代，以及其半 世代設計的製程技術。3奈米於晶圓十八廠進行風險試產，預計於2022年下半年量產。此外,為提供更先進的製造技術，亦在晶圓十二廠建置部分產能作為研發用途，以支援3奈米、2奈米及更先進製程的技術發展。
這四座超大晶圓廠在超級製造平台（Super Manufacturing Platform, SMP）的整合管理與協調運作下，能讓客戶得到一致的品質與可靠度，還能因應需求變動提供更大的產能彈性，縮短良率學習曲線與量產時間，以及提供較低成本的產品重新認證流程。
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Mini |
Mega |
Giga |
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| Profile |
Monthly 300mm capacity (pcs) |
~10K |
~25K |
>100K |
| Customer Values |
Operating cost |
High |
Medium |
Low |
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Flexibility |
Limited |
Medium |
High |
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Ramp-up agility |
Limited |
Medium |
High |
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Cycle time |
Long |
Medium |
Short |
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Delivery precision |
Limited |
Medium |
High |